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伊斯等人的设计获得了成功，于1959年7月申请了专利。后来，得克萨斯公
司和仙童公司为集成电路的发明权发生过争执。但人们公认，基尔比和诺伊
斯对集成电路的发展都做出了重大贡献。
集成电路的诞生，标志着电子技术进入了微电子技术的新阶段。1960
年，得克萨斯仪器公司和仙童公司等都研制出电阻—晶体管逻辑电路。这是
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一种数字集成电路系列产品。1962年，西格尼蒂克斯公司发明了性能更佳的
二极管——晶体管逻辑电路，摩托罗拉公司开发出高速双极逻辑电路——发
射极耦合电路。1963年，塞尔凡尼亚公司研制成更为先进的晶体管—晶体管
逻辑电路。这种双极电路后来取得很大进展。
1962年，美国无线电公司的霍夫斯坦和海曼研制出金属氧化物半导体场
效应管。它的集成度高，功耗低，可靠性好，工艺简单，但存在工作速度较
慢、要求不同工作电压、易氧化等缺点。60年代后期。制造MOS电路的技术
更加成熟，一些障碍被突破，MOS电路才获得巨大发展。1967年，仙童公司
生产出世界上第一个只读存贮器。它是一个64位MOS器件。1969年，美国
的英特尔公司制成了4位的4004微处理机，采用了P沟道MOS工艺。1972
年，该公司开发了计算机上使用的MOS结构1024位动态随机存贮器。1975
年，他们又推出了4096位动态随机存贮器。这时，使用几片集成电路片子已
能组装成一台微型计算机。
集成电路自问世以来，发展异常迅猛。60年代初期，生产的是在一块芯
片上包含几十个晶体管的小规模集成电路。60年代中期发展到几百甚至上千
个元器件的中规模集成电路。同时，微电子学也成为一门独立的学科。进入
70年代，集成电路技术发展更快，形成了1000个以上晶体管的大规模集成
电路，后期甚至出现了20多万个晶体管的芯片，进入了超大规模集成电路的
时代。而且集成的对象也发生了根本变化，有复杂的功能部件，也有成台整
机 （单片计算机）。80年代，集成电路又有长足发展，芯片上的集成元器件
最多已达几百万个。预计90年代集成度将达到上千万，本世纪末可达数十
亿。集成电路的这种发展速度是无与伦比的。
在集成度不断提高的同时，集成电路的功能也不断完善，形成了数字集
成电路、模拟集成电路和接口集成电路等几大类。接口集成电路出现于 70
年代。它可以在各种不同的电子系统之间起到连接和匹配作用。
集成电路的迅猛发展，与大规模集成技术密不可分。这一技术包括电路
设备分析技术和手段、微细加工技术、半导体材料提纯和加工技术、检测技
术、超纯和超净技术5个方面。用电子束制作集成电路光刻工序中使用的掩
膜，取代了庞大昂贵的红宝石刻蚀设备，使集成电路生产过程发生了根本性
变化。离子注入技术的出现，则使半导体掺杂方法得到重大改进。超纯、超
净技术大大提高了半导体器件的质量。到80年代初，超纯硅的纯度已达12
个9。此外，在电路设计中引进了计算机辅助设计，检测技术实现了高精度
化、自动化和计算机化。80年代末，工业发达国家在超精细加工技术方面已
大量采用了1微米技术，代表品种是1兆位动态存贮器。采用0。8微米技术
的4兆位动态存贮器也已投入生产。90年代，超精细加工技术将从亚微米（0。5
—1）微米）向深亚微米（0。1—0。5微米）发展。1990年6月，日本宣布研
制出0。3微米技术的64兆位动态存贮器原型样品。估计到2000年256兆位
动态存贮器将投入生产。
微电子技术作为新技术革命的前导技术，在各高新技术领域中大显神
通，以其无以匹敌的巨大威力，带动了计算机技术、通信技术、生物技术、
空间技术等的飞速进展。由于中央处理器的集成化，微型计算机在70—80
年代迅速普及，并进入了办公室和家庭。微电子技术对人类社会发展的影响
是难以估量的。
目前，微电子技术发展方兴未艾。各国政府对它极为重视。70年代，在
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日本政府扶植和资助下，日本5家公司组成“超大规模集成电路技术研究组
合”，通过共同研究取得很大成功。美国半导体制造技术联合体，进行了1987
—1993年的合作研究。西欧实施了欧洲联合亚微米硅计划，时间从1989年
到1996年。中国引进的3微米技术生产线已于1990年投产，“1微米兆位
计划”已列为国家重点发展项目。
2。电子计算机的发展
电子计算机的产生是当代科学技术最辉煌的成就之一，是科技史上最令
人注目的奇迹；它是人类智力解放的一座里程碑。自 1945年底世界上第一台
电子计算机诞生以来，它的发展已经历了四代，第五代电子计算机正在孕育
之中。电子计算机的广泛应用，对人类社会的各个方面都产生了极其深远的
影响。
（1）电子计算机的产生
电子计算机的产生是现代数学、现代物理学和现代技术相互结合的成
果。现代数学中的一个分支——数理逻辑，奠定了电子计算机逻辑设计的基
础；本世纪20年代以来电子科学技术和自动控制技术的发展为电子计算机的
产生提供了必要的物质基础；近代以来到本世纪40年代相继出现的机械计算
机、继电器计算机，为其准备了技术条件；而促使电子计算机产生的催化剂
则是第二次世界大战的军事需要。
第二次世界大战中，美国宾夕法尼亚莫尔学院电工系与马里兰州阿贝丁
弹道研究实验室合作，为陆军计算炮击火力表。每张火力表要计算几百条弹
道的数据，而一个熟练的计算员用台式计算机算一条弹道就需20小时，用大
型微分分析仪也需15分钟。他们一方面不断改进微分分析仪，同时雇用200
多名计算员。但算一张火力表仍需要两三个月，结果还不能令人满意。这种
状况远远不能适应战争的需要。当时电子管的应用日益广泛。由于二极管栅
极控制电流开关的速度比电磁继电器快1万倍，因此用电子管取代电磁断电
器就能够大大加快计算机的计算速度。1942年8月，莫尔学院的莫希利（1907
—1960）提出了电子管计算机的设想。1943年初，他的设想受到军方代表、
青年中尉戈德斯泰因的重视，并在1943年4月的方案讨论会上得到陆军的支
持。尽管当时对电子计算机的研制成败难卜，但迫于军事需要的压力，美国
陆军还是冒着风险与莫尔学院签订了研制合同，并提供巨额经费。
研制工作几经波折，先后20次修改合同，所用经费是原计划的3倍多。
到1945年底，世界上第一台电子计算机ENIAC研制成功。1946年2月5日
举行了揭幕典礼。1947年，它被运往阿贝丁用于弹道计算。
这台电子计算机重达30多吨，占地170平方米，共用18000多个电子管，
运算速度为每秒5000次，比当时已有的计算机快1000倍。电子计算机初出
茅庐就显示了卓然不凡的威力。但ENIAC的可靠性仍然较差，存贮容量小，
尤其它的程序是外插型的，不便于使用。因此，如何充分发挥电子技术提供
的巨大潜力，成为电子计算机改进的突出问题。
第一台电子计算机的问世，是计算机发展史上的一次重大突破。它开创
了信息时代的新纪元。
事实上，最早的电子计算机不是ENIAC。英国在第二次世界大战中制成
的Colossus机比它要早好几年，只是由于英国政府保密才不被人知。它是专
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门为破译密码而研制的。1975年后，英国官方才将Colossus机的秘密透露
出一些。因此，人们还是习惯把ENIAC看作最早的电子计算机。
（2）电子计算机的发展
从第一台电子计算机产生到80年代，电子计算机的发展已经历了四代：
电子管、晶体管、集成电路、大规模集成电路。第五�